產(chǎn)品特點：

1、快速響應(yīng)控制系統(tǒng)

    高穩(wěn)定性快速響應(yīng)控制算法，具備抗過沖、升降響應(yīng)快等優(yōu)勢，流量設(shè)定響應(yīng)時間～700ms以內(nèi)；全系列采用多層壓電陶瓷促動器驅(qū)動閥門控制，具備高精度位移控制、快速響應(yīng)、低發(fā)熱等多種優(yōu)勢。

2、精確穩(wěn)定的流量測量單元

    超精密熱式流量傳感器擁有獨立控制響應(yīng)控制回路，在全量程、多種氣體范圍可實現(xiàn)流量精確校準(zhǔn)及測量，為高精度流量控制提供保障；高可靠的流量傳感器制造工藝可有效降低傳感器漂移。

3、潔凈精密的機(jī)械系統(tǒng)

    全系列采用符合SEMI UHP等級的不銹鋼316L等材料作為接觸氣體材料，具備滿足SEMI要求的表面處理工藝；采用全金屬密封流路，穩(wěn)定、可靠。