Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。
GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu),用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的12 圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋/ 內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外,該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。GCT-225
系列產(chǎn)品提供5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 三種輸出類型,可使用六英尺多芯電纜及卡口、D-Sub 或M12x1 接頭進(jìn)行電氣連接。
GCT-225 系列壓力變送器采用Setra 可變電容技術(shù),配有VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時(shí),隔膜會變得略圓,使電容減小。傳感器將檢測到電容變化,并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。Setra 獨(dú)特的定制集成電路采用專利的電荷平衡原理制成,幾乎不受EMI/RFI 干擾。
在制造和裝配完成后,Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾?、烘干、雙層包裝、氮?dú)獬渥⒑兔芊獾忍幚?,最后才發(fā)貨。
注:Setra 的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品的標(biāo)定具有NIST 可追蹤性,美國專利號。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·堅(jiān)固耐用,無故障安裝
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證,適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域
·符合CE 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
規(guī)格
性能參數(shù) |
物理參數(shù) |
電氣參數(shù)(電壓) |
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精度RSS1(恒溫下) |
±0.25%FS |
殼體 |
不銹鋼 |
電路 |
3線(COM,OUT,EXC) |
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非線性(最佳擬合直線) |
±0.15%FS |
電氣連接 |
6英尺/1.8米多芯電纜,4 針頭卡口接頭 |
輸出4 |
0~5VDC或0.2~5.2VDC5 0~10VDC或0.2~10.2VDC5 |
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遲滯 |
0.20%FS |
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溫度影響2 |
壓力接口 |
#4外螺紋/內(nèi)螺紋端面密封旋轉(zhuǎn)接頭,1/4NOT外螺 紋接頭或管接頭 |
激勵 |
5VFSO(滿量程輸出)時(shí)為10~30VDC 10VFSO(滿量程輸出)時(shí)為13-30VDC |
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溫度補(bǔ)償范圍 |
-9~65℃ |
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零點(diǎn)/滿程漂移 |
1.8%(%FS/50℃) |
輸出電阻 |
10Ω |
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暖機(jī)(預(yù)熱)偏移 |
總計(jì)為0.1%FS |
通氣 |
通過外殼 |
段及偏移 |
總誤差±0.1%FS |
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泄漏試驗(yàn);使用質(zhì)譜儀進(jìn)行1×10-9ATM .CC/sec級別的氨滲漏試驗(yàn) |
內(nèi)腔體積 |
0.11in3 |
功耗 |
0.03W |
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接液部件 |
VIM/VAR316L不銹鋼,電解 拋光至7Ra(最大10Ra) |
電氣參數(shù)(電流) |
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壓力介質(zhì) |
電路 |
2線 |
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與316L不銹鋼兼容的液體或氣體 |
重量 |
約113g |
輸出6 |
4~20mA7 |
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認(rèn)證 |
環(huán)境參數(shù) |
外部負(fù)載 |
0-800Ω |
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不易燃認(rèn)證;適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域的認(rèn)證; |
工作溫度3 |
-40℃+85℃ |
最小供電 電壓(VDC) |
10+0.02x(接收器附加導(dǎo)線電阻) |
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存放溫度 |
-40℃+85℃ |
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北美;可選ETL認(rèn)證,適用于ANSI/ISA -12.2.01-2011標(biāo)準(zhǔn)中列出的1類2區(qū) A.B.C.D組成危險(xiǎn)區(qū)域(選擇N1選項(xiàng)) |
電流輸出型(訂購N1選項(xiàng)時(shí)) |
-30℃+80℃ (工作/儲存溫度) |
最大供電電壓(VDC) |
30+0.004x(接收器附加導(dǎo)線電阻) |
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功耗 |
﹤0.9W |
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歐洲;可選用于標(biāo)準(zhǔn)EN60079-0;2012的ATEX94/9/CE2區(qū)認(rèn)證或EN60079-15;2010 11 3G EX nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃認(rèn)證 (選擇N1選項(xiàng)) |
1. 非線性、遲滯、非重復(fù)性的RSS值(方和根)
2. 產(chǎn)品在21℃進(jìn)行標(biāo)定,最大溫度影響誤差由此書記計(jì)算.
3. 僅限電子元件的工作溫度限制,壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低。
4. 采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可在負(fù)數(shù)≥5KΩ時(shí)工作
5. 零點(diǎn)(滿量程)輸出:對于5VDC電源,出廠設(shè)置在±25mV以內(nèi);對于10VDC電源,出廠設(shè)置在±50mV以內(nèi)
6. 出廠標(biāo)定時(shí)采用250Ω負(fù)載,24VDC電源。
7. 零點(diǎn)輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA以內(nèi),滿量程輸出的出廠設(shè)置在±0.16mA以內(nèi)。