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日本HORIBA LF系列質(zhì)量流量計(jì)是一款專門測(cè)量微小液體的質(zhì)量流量控制器。
1： LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請(qǐng)預(yù)先指定所使用 的液體。)
名稱
質(zhì)量流量計(jì)
型號(hào)
LF-F20M-A
LF-F30M-A
LF-F40M-A
LF-F50M-A
LF-F60M-A
全標(biāo)度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
檢測(cè)控制范圍
5-100%F.S.
對(duì)象液體種類 *1
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2
最大值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3
±1% F.S.
直線性 *3
±0.5% F.S.
重復(fù)性 *3
±0.5% F.S.
響應(yīng)精度
3秒以內(nèi) (T98)
2秒以內(nèi) (T98)
使用環(huán)境溫度 *4
5-50℃ (15-45℃精度的確保)
溫度影響 Span
±0.1%F.S./℃最大值±1%
工作差壓值值 *5
最大值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50-300kPa (with piezo 控制閥)
耐壓
10MPa (視為流量計(jì))
壓力損失
最大值. 500Pa
流量設(shè)定信號(hào)
模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號(hào)
模擬：0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動(dòng)電源
+15 V ±5%, 200 mA-15V ±5%, 200mA
外部泄漏規(guī)格
5×10-12Pa·m3/s(He)
接液部材質(zhì)
SUS316L, Ni
標(biāo)準(zhǔn)接頭
1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型
名稱
質(zhì)量流量控制器
型號(hào)
LV-F20 (PO/MO)
LV-F30 (PO/MO)
LV-F40 (PO/MO)
LV-F50 (PO/MO)
LV-F60 (PO/MO)
全標(biāo)度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
檢測(cè)控制范圍
5-100% F.S.
對(duì)象液體種類 *1
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2
最大值. 0.01 Pa·s (10cp)
精度 *3
±1% F.S.
直線性 *3
±0.5% F.S.
重復(fù)性 *3
±0.5% F.S.
響應(yīng)精度
3秒以內(nèi) (T98)
2秒以內(nèi) (T98)
使用環(huán)境溫度 *4
5?50℃ (15- 45℃精度的確保)
溫度影響Span
±0.1%F.S./℃-最大值±1%
工作差壓值 *5
0.05-0.3MPa
耐壓
1MPa
壓力損失
ー
流量設(shè)定信號(hào)
模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號(hào)
模擬：0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動(dòng)電源
+15 V ±5%, 200 mA?-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格
PO 類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa?m3/s (He)
接液部材質(zhì)
PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA?MO 類型： SUS316L，Ni
標(biāo)準(zhǔn)接頭
1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型
?不能檢測(cè)含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí)，請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí)，請(qǐng)?jiān)谝淮味?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過(guò)濾器。
*2： LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 最大值， 0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。
*4： 進(jìn)行測(cè)量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
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