特征:
以魅力、價(jià)格實(shí)現(xiàn)從微小流量到大流量的控制;
高速響應(yīng),1秒內(nèi)達(dá)到流量設(shè)定值。搭載了新設(shè)計(jì)的控制回路和高速應(yīng)對的流量感應(yīng)器,根據(jù)所接收到的電力信號,流量的初期安定性比較好,通過流量變化的實(shí)施程序使得能一直保持安定的流量進(jìn)行測控。(大流量對應(yīng)型號:SEC-E80在2秒內(nèi)應(yīng)對)
高精度,±1.0%F.S
高信賴性,具備自動(dòng)調(diào)零功能
可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制;所謂質(zhì)量流量控制器,是計(jì)測質(zhì)量流量,可根據(jù)所接收的電力信號,自動(dòng)的進(jìn)行任意流量的一種控制器。因此,即使使用環(huán)境(如溫度、壓力)發(fā)生變化變化,也不必進(jìn)行修正,就能準(zhǔn)確的進(jìn)行質(zhì)量流量控制。
采用自動(dòng)流量功能閥門;流量控制閥門由于是采用自動(dòng)流量功能功能控制型,當(dāng)本體電源無供給時(shí),閥門將自動(dòng)調(diào)整為關(guān)閉狀態(tài)。停電時(shí)也可以將流量控制在最小限度內(nèi)。
工作原理:
1、入口處進(jìn)來的氣體被分流到流量感應(yīng)器和旁路處。
2、通過感應(yīng)器得到按質(zhì)量流量比例形成的溫度變化信息,在回路中交換成電力信號。
3、該信號通過增幅回路、修正回路、以0-5V的線性電力信號向外部輸出,另一方面又輸入至比較控制回路中。
4、外部得到的設(shè)定信號和從感應(yīng)器處得到的流量信號在比較回路中形成差異信號,再輸送至下一個(gè)的閥門驅(qū)動(dòng)回路中。
5、流量控制閥門盡可能使該差異信號將為“0”,使流量一直控制在設(shè)定流量。
SEC- (質(zhì)量流量控制器) |
E60 |
適用氣體種類*1 |
N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 |
氣體接觸部材質(zhì) |
SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼 |
閥門型號 |
非通電時(shí) 關(guān)閉 |
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) |
50/100 SLM |
流量控制范圍 (適于SEC系列) |
5-100% F.S. |
流量測量范圍 (適于SEF系列) |
0-100% F.S. |
響應(yīng)速度 |
1秒以內(nèi)(T98) |
流量精度 |
±1% F.S. |
直線性 |
±0.5% F.S. |
反復(fù)性 |
±0.5% F.S. |
工作差壓值值(適于SEC系列) |
100-300kPa(d) |
使用壓力 (適于SEF系列) |
350kPa(G)以下 |
耐 壓 |
1MPa(G)以下 |
外部泄漏率 |
1×10-7Pa?m3/s(He)以下 |
使用環(huán)境溫度 |
5-45℃(精度的確保:15-35℃) |
流量設(shè)定信號 |
0.25-5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5-100% F.S. |
流量輸出信號 |
0-5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) |
驅(qū)動(dòng)電源 |
+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 |
3/8SWL 類型 |
技術(shù)規(guī)格
*1:關(guān)于記載以外的氣體種類,請另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:最大值300kPa(G);SEC-70/80:最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。